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上海AI实验室破解芯片光刻胶制备“技术黑箱”，攻克关键制备难题
上海AI实验室联合多家单位以“书生”科学大模型与自动化平台构建AI闭环研发体系，攻克高端KrF光刻胶树脂稳定制备难题，实现从经验试错到数据驱动的迭代优化，并将金属杂质稳定控制在极低水平。成果进入验证阶段，助力摆脱海外“黑箱”依赖，提升半导体核心材料自主可控。
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