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上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题
上海AI实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等，基于“书生”科学大模型与自动化合成平台，构建“AI决策+自动化合成”闭环体系，攻克KrF光刻胶树脂稳定制备难题，实现高纯度、高一致性与高效率生产，减少对国外供应商依赖，为芯片核心材料研发提供可标准化、快速迭代的新路径。
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